半導體設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備,屬于半導體行業(yè)產業(yè)鏈的關鍵支撐環(huán)節(jié)。半導體設備是半導體產業(yè)的技術先導者,芯片設計、晶圓制造和封裝測試等需在設備技術允許的范圍內設計和制造,設備的技術進步又反過來推動半導體產業(yè)的發(fā)展。
以半導體產業(yè)鏈中技術難度、附加值、工藝為復雜的集成電路為例,應用于集成電路領域的設備通??煞譃?span style="font-weight:bolder;">前道工藝設備(晶圓制造)和后道工藝設備(封裝測試)兩大類。